具有改變性能的自動(dòng)化功能的晶圓推拉力測試儀，能測量微小產(chǎn)品的機械強度。博森源測試儀器是一個(gè)革命性的解決方案，對于測量機械性強度。具有顯著(zhù)的0.25%的精度和200納米的剪切高度精度，已超高行業(yè)其他同類(lèi)型測試器。包括免費安裝設備和深度學(xué)習自動(dòng)測試和分析。

為什么選擇一臺博森源推拉力測試儀?

1.靈活的數據分析

統計過(guò)程控制

控制圖(CPK、圖等)

特殊表格管理功能

實(shí)時(shí)力圖

制定管制規則

2.最精確的推力和拉力測試儀

無(wú)與倫比的0.25%精度

200納米剪切高度精度

數字溫度特征

可編程著(zhù)陸力降至5gf

24位ADC分辨率

3.按設計模塊化

各種裝載選擇

也適合你的樣品

強大的顯微鏡選項

4.最佳人體工程學(xué)

為操作員設計

可調節的顯微鏡

清潔工作環(huán)境

碎片管理

2x6按鈕操縱桿

5.全球服務(wù)

市場(chǎng)領(lǐng)導者

重點(diǎn)區域的辦公室

廣泛的分銷(xiāo)商和代表網(wǎng)絡(luò )

如何實(shí)現高精度測試？

1.剪高控制

納米控制剪切傳感器有一個(gè)獨特的驅動(dòng)器，在剪切傳感器體內有一個(gè)封閉的控制環(huán)。它提高了剪切高度的精度和穩定性，在測試關(guān)鍵應用，如晶圓級，涂層，和鉛框架的精度為200納米。

2.確保對剪切高度進(jìn)行納米控制

剪切高度是在粘結測試儀上控制的最具挑戰性的排列之一。測試之間的差異可能會(huì )影響測量結果，并降低測試結果的可靠性。革命性的納米控制剪切傳感器通過(guò)在剪切傳感器主體內集成一個(gè)獨特的驅動(dòng)器和一個(gè)閉合的控制回路來(lái)解決所有這些問(wèn)題。

該傳感器可補償測試過(guò)程中剪切高度的任何變化，并使粘合測試過(guò)程中的剪切高度完全可追溯。它是一種特殊的解決方案，可用于測試晶圓級、涂層和引線(xiàn)框架等精確應用。

3.推力工具設計

一些基本考慮因素適用于所有剪切工具設計應用。

當刀具接觸待測物時(shí)，將發(fā)生初始點(diǎn)或線(xiàn)的接觸。隨著(zhù)測試的繼續，這會(huì )導致接觸位置的高局部應力和樣品中的塑性變形。

（1）向下推力

為了破壞接著(zhù)面，球必須能夠從粘結中抬起，但推刀在物理上是將其壓住。 為了使其更不容易發(fā)生粘接失效，塑性變形會(huì )產(chǎn)生向下推力而將粘合推到一起，有助于支撐它。 下推力從硬質(zhì)樣品中的0到復合材料高達40%的測試載荷不等。在大多數情況下，它大約是測試負載的 10%。

（2）硬質(zhì)散裝材料

對于硬質(zhì)材料，沒(méi)有下推力。 只有刀具和球在接觸點(diǎn)處的摩擦才能支撐粘合。 這使得球可以旋轉并使粘結失效。在高測試速度下，變形（應變率）更快  。硬質(zhì)材料硬度隨應變率的增加而增加。因此，在高速下，硬質(zhì)材料更硬，因此會(huì )產(chǎn)生更多感興趣的失效模式。

（3）刀具傾角和間隙角

傾角和間隙角是工具表面與待測物接觸的基本角度。例如：標準剪切工具應具有 0° 傾角和約 5° 的正間隙角。

（4）可程序設計著(zhù)陸力

在某些應用中，測試高度參考測試目標本身，而不是放置目標的基板較具有優(yōu)勢。這是一種「頂部著(zhù)陸」方法，因為工具落在目標頂部而不是基板上。

頂部著(zhù)陸需要針對不同的應用不同的力，需要可程序設計的著(zhù)陸力。

以輕微的著(zhù)陸力降落在芯片頂部還可以通過(guò)將芯片在推刀和治具之間壓平而最大限度地減少翹曲的影響。

也可以使用頂部著(zhù)陸來(lái)測試堆棧的芯片樣品或測試彼此靠近的芯片。